大型 AI 晶片異質整合與抗翹曲需求:Balance Film 成為先進封裝關鍵材料
- —當 AI 算力數據中心受限於可用資金、電力與土地,透過舊機櫃換新機櫃搭配 光通訊 scale out 提升單位面積算力成為可行的升級路徑
- —在大尺寸封裝製程中,矽晶片、中介層、ABF 載板與環氧樹脂之熱膨脹係數各異,冷卻後的應力失衡會導致微影對位偏移或基板破裂
隨著 AI 晶片朝 5.5x 光罩以上大尺寸與高層數發展,異質整合之熱膨脹係數不匹配使翹曲呈非線性惡化,傳統物理載具已難以壓制。Balance Film 作為反向應力補償材料,能主動形成對沖應力維持基板平整。大尺寸異質整合封裝導致翹曲非線性急遽惡化,製程前段導入抗翹曲應力平衡膜已成為確保微影良率的必然趨勢